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半导体DI水中颗粒过滤及细菌控制

作者:净心来源:仟净网址:http://www.www.xxks1998.com/

颗粒过滤、捕集过滤和系统预过滤

去除沉积物和其他悬浮颗粒对于任何水处理系统的高效、经济运行都至关重要。使用深层过滤介质进行颗粒过滤器,防止过量颗粒污染初始处理步骤。反渗透系统预过滤器可保持反渗透膜的性能并降低反渗透膜清洁的频率。

在工艺用水通过处理设备(如含有活性炭粉末的罐或含有树脂珠的软化和去离子罐)后,使用捕集过滤器。这些粉末或树脂可能会分解、断裂并释放小颗粒。过滤器用于捕获颗粒并防止污染下游处理工艺步骤。

细菌控制

有许多可能的细菌和其他生物可以进入处理过程,但所有这些都可以使用膜过滤器去除。生物体可以通过多种方式进入系统。一种是源水,它本身通常携带非致病性生物。系统维护是细菌进入系统的另一种常见方式。当设备打开更换零件或清洁时,内部零件暴露在环境空气中,使空气中的细菌进入系统。

制药用水系统中的细菌控制通常使用热量(将系统保持在70°C以上的温度)和附加方法完成,包括过滤,可选。两张图都显示了紫外线灯,然后是过滤器,以去除细菌被灯杀死时产生的“细菌碎片”。细菌过滤器基于膜,孔径为0.10μm至0.45μm,具体取决于设施的政策。它们将捕获大部分(如果不是全部)碎片并保护下游过程。

使用点细菌过滤

一些设施可能会使用灭菌过滤器作为防止系统中细菌紊乱的最终保险。如果使用,这些膜过滤器通常具有0.22μm的孔径额定值,尽管一些操作员选择使用0.10μm孔径过滤器。该过滤器是保护下游工艺免受细菌污染的最关键过滤器。

超细颗粒去除

为了确保电子/半导体系统分配回路中的超纯水(UPW)保持纯净,过滤器C和D用于去除可能进入系统的污染物或系统组件脱落的颗粒。这些过滤器可用于减少生物负荷、灭菌过滤或超细颗粒去除。孔径为 0.10 μm 的膜过滤器用作过滤器 C.过滤器 D 使用切向流超滤器或 0.03 μm 额定死端过滤器。可以选择使用带正电荷的膜的过滤器,因为它能够去除有机分子,包括小于膜孔径的热原。

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